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罗茨泵也分粗真空使用的湿式罗茨真空泵、气冷式罗茨真空泵,中高真空作为机械增压泵使用的干式罗茨真空泵以及多级罗茨真空泵。
无法单独启动的只是中高真空中使用的罗茨真空泵。简单的说,就是因为粗真空下使用,压差过大会使罗茨真空泵过热,导致膨胀卡死、电机烧毁,因此中高真空下的罗茨泵必须配备前级泵使用。而湿式及气冷式罗茨泵的间隙设计以及冷却设计作了针对处理,降低了真空性能换来了可直排大气的效果;多级罗茨泵采用多级设计,抽速由第一级确定,也可以单独使用。