机械设备
日本FLUORO福乐C002-Y半导体晶圆玻璃搬运
2025-05-26 08:41  点击:23
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一、核心功能与设计

  1. ?吸附控制模式? 采用“按压按钮排气/松开吸气”的阀门控制逻辑,推压状态下可持续保持稳定吸附力。此设计适用于高精度晶圆转移,避免操作失误导致的材料损伤?。

  2. ?材料适配性?

  • ?导电型主体?:C系列产品主体采用碳纤维填充尼龙树脂(导电材料),适用于需防静电的半导体制造环境?。

  • ?吸附头材质?:标配PEEK树脂吸附头,具备耐化学腐蚀性,可兼容硅晶圆、玻璃等敏感材料搬运?。

  1. ?模块化设计? 支持根据搬运对象更换吸附头或喷嘴,例如可替换为晶圆专用吸附头或软质垫片,适配不同尺寸及表面特性的材料?。

二、配套系统与扩展

  1. ?稳定性增强配件? 可搭配专用底座(如型号652),通过合金材质与低重心设计提升操作稳定性,尤其适用于长时间连续作业场景?。

  2. ?操作便捷性?

  • 轻量化结构(单机重量约0.35kg)减轻工人负担,同时支持快速清洁维护?。

  • 吸附力切断按钮功能(如003型)可选配,增强操作安全性?。

三、应用场景

主要覆盖半导体晶圆生产线、光学玻璃加工等领域,尤其适用于需避免物理接触或静电干扰的高洁净度环境。同类产品中还包含非接触式伯努利卡盘(BC系列),但C002-Y系列更注重直接吸附场景下的灵活性与成本效益?。


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