小型滑轨式PECVD系统本设备主要针对实验中试石墨烯生长和制备使用，同时该设备可以用于碳纳米管的生长。可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,智能穿戴,传感器等领域。
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滑轨式PECVD加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。
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1、加热系统
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z高温度
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1200℃
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使用温度
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≤1100℃
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炉膛有效尺寸
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Φ100mm（适用于2-3英寸样品，炉管直径可根据实际需要定制。）
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炉膛材料
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氧化铝、高温纤维制品
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热电偶类型
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K型热电偶
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控温精度
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±1℃
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控温方式
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30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7”工控电脑，内置PLC控制程序。
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加热长度
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230mm
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恒温长度
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100mm
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加热原件
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电阻丝
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供电电源
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单相，220V，50Hz
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2、PE射频电源
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功率输出范围
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0W~500W
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z大反射功率
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100W
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射频输出接口
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50 Ω, N-type, female
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功率稳定度
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≤5W
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谐波分量
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≤-50dbc
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供电电压
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单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ
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整机效率
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>=70%
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功率因素
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>=90%
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冷却方式
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强制风冷
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3、三路质子流量控制系统
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连接头类型
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双卡套不锈钢接头
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标准量程（N2)
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50sccm，100sccm、500sccm（可根据用户要求定制）
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准确度
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±1.5%F.S
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线性
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±1%F.S
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重复精度
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±0.2%F.S
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响应时间
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气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
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工作压差范围
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0.1～0.5 MPa
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z大压力
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3MPa
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接口
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Φ6,1/4''
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显示
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4位数字显示
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工作环境温度
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5~45高纯气体
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压力真空表
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－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
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截止阀
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Φ6
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内外双抛不锈钢管
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Φ6
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4、低真空机组
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空气相对湿度
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≤85%
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工作环境
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5℃～40℃
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工作电电压
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220V±10% 50~60HZ
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功率
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1KW
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抽气速率
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10m?/h
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极限真空
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5X10-1Pa
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工作压力范围
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1.01325X105～1.33X10-2Pa
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耐压值
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0.03MPa
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容油量
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1.1L
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进气口口径
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KF25
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排气口口径
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KF25
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噪音
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50dB
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连接方式
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采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连
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