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1、加热系统
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z高温度
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1200℃
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使用温度
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≤1100℃
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炉膛有效尺寸
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φ50/φ100mm（炉管直径可根据实际需要定制。）
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炉膛材料
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氧化铝、高温纤维制品
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热电偶类型
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K型热电偶
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控温精度
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±1℃
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控温方式
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30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7/10寸工控电脑内置PLC控制程序。
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加热长度
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230mm/440mm
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恒温长度
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100mm/200mm
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加热原件
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电阻丝
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供电电源
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单相，220V，50Hz
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2、PE射频电源
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功率输出范围
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0W~150/500W
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z大反射功率
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100W
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射频输出接口
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50 Ω, N-type, female
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功率稳定度
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≤5W
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谐波分量
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≤-50dbc
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供电电压
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单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ
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整机效率
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>=70%
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功率因素
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>=90%
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冷却方式
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强制风冷
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功率输出范围
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0W~150/500W
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z大反射功率
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100W
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3、PECVD系统的三路质子流量控制系统
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连接头类型
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双卡套不锈钢接头
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标准量程（N2)
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50sccm，100sccm、500sccm（可根据用户要求定制）
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准确度
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±1.5%F.S
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线性
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±1%F.S
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重复精度
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±0.2%F.S
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响应时间
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气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
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工作压差范围
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0.1～0.5 MPa
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z大压力
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3MPa
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接口
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Φ6,1/4''
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显示
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4位数字显示
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工作环境温度
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5~45高纯气体
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压力真空表
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－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
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截止阀
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Φ6
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内外双抛不锈钢管
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Φ6
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连接头类型
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双卡套不锈钢接头
https://www.chem17.com/st235110/product_36409473.html
http://www.ahbeiyike.com/ParentList-684448.html
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4、低真空机组
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