设备二维材料制备CVD系统特点:此款CVD系统前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助二维材料蒸发,后端为双温区管式炉,温度控制精确,操作简便。并配质量流量计系统和真空系统,可以准确的反应腔体内部的气体压力和气体流量,对于做低压CVD实验非常实用,重复性好。
二维材料制备CVD系统
硫粉预热器 |
工作温度:400℃ z高温度:1200℃ z快升温速率:≤30℃/min 推荐升温速率:10℃/min 控温方式:智能化30段可编程控制 工作电压:AC220V 额定功率:800W 控温精度:±1℃ 加热元件:电阻丝 |
加热区参数
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额定功率:5kw z高温度:1200℃ 工作温度:1100℃ z大升降温速率:≤30℃/min 炉管尺寸:高纯度石英管Φ25Φ50Φ60Φ80Φ100x1650mm (管径可选) 加热区长度:200+200mm 恒温区长度:290mm 控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。 标准配件:石英管1支,莫来石管堵2对,不锈钢法兰1套,硅胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支; 尺寸:约 550×380×600 mm(炉子) 约:1700×380×620 mm(炉子+滑轨) 可选配单温区、双温区、三温区等加热区。 |
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